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超音波マイクロ測定システム

超音波マイクロ測定システム-CAT-ULT0007
  • MEAS
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  • SL-900
SL-900 シリーズの超音波マイクロ測定システムは、半導体業界で超高純度化学流体の検知および測定を行うには最適のソリューションです。
詳細表示 標準

製品の特長

  • 超音波センサのタイプ : ポイント液面レベル センサ

  • 超音波センサのスタイル : コンタクト

より入手可能

LADD Inc
概要

化学蒸着工程において液体レベルを高い信頼性で正確に測定することは、半導体のウェハ製造工程において何にもまして重要です。 SL-900 シリーズ センサは、1 つまたは複数の離散点レベルごとに非常に高い精度での測定を実現します。この超音波システムは、DMAH、チタン前駆体、銅前駆体などの高粘性液体に最適です。 

特長

  • センサ本体は、機械加工された 316 L ステンレス鋼製
  • センサ材料を電解研磨仕上げ (最小算術平均粗さ Ra = 25 µin)
  • センサのサイズを小型にすることで、液体体積の変位を低減
  • 最大 250 PSIG (1724 kPa) までの高圧容器用途に対応 (これより高圧の用途については、工場までお問い合わせください)
  • 離散点レベルごとの精度 ±2 mm
  • 通常、±1 mm の再現性を提供
  • 5/8 インチ チューブでは容器底面から 1/4 インチ (6mm) まで、1/2 インチ チューブでは 5/16 インチまでの単一ポイント低水面に対応
  • 化学流体の電解性、粘度、色、密度、透明度に関わらず、DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、TEOS、DCE、TCAなどの液体で使用可能

用途

  • 半導体産業
  • 製薬業界
  • 高圧力容器 
仕様と特徴

製品情報をご確認ください または 認証機関による最新情報に関しましてはお問い合わせください。 

製品のタイプの特徴

  • 超音波センサのタイプ  ポイント液面レベル センサ

  • 超音波センサのスタイル  コンタクト

電気的特性

  • 出力のタイプ  デュアル カラー LED および ½ A リレー

使用条件

  • 使用温度範囲  -30 – 93 °C [ -22 – 198 °F ]

  • 圧力  17.2 bar [ 250 psi ]

動作/用途

  • 作動点/センシング範囲  可変

その他

  • ポート フィッティング  1/2 NPT | 3/4 VCR、オス/メス

関連資料

データ シート/カタログ ページ