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センサ
圧力センサ
ボード マウント用圧力センサ
製品リスト
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より入手可能
MS52XX のセンサ素子は、基準圧力用として裏面に真空接合されたホウケイ酸ガラス ウェハと、微細加工されたシリコン メンブレンで構成されています。埋め込み抵抗は、ピエゾ抵抗効果を利用してメンブレンに加わる圧力を検出します。本センサは特殊プロセスにより実装されており、優れたオフセット安定性を実現し、PCB への直接実装に適しています。
この小型圧力センサ MS52XX の主な用途は以下のとおりです。
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