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概要

MS52XX のセンサ素子は、基準圧力用として裏面に真空接合されたホウケイ酸ガラス ウェハと、微細加工されたシリコン メンブレンで構成されています。埋め込み抵抗は、ピエゾ抵抗効果を利用してメンブレンに加わる圧力を検出します。本センサは特殊プロセスにより実装されており、優れたオフセット安定性を実現し、PCB への直接実装に適しています。

特長

  • 絶対圧力範囲:最大 12 bar 
  • 無補償 
  • ピエゾ抵抗シリコン微細加工センサ  
  • 表面実装 7.6 × 7.6 mm 
  • 低ノイズ・高感度・高線形性
  • 低コスト SMD セラミック パッケージ
  • 高信頼性、低ドリフト 
  • 動作温度範囲:-40 ℃ ~ +125 ℃  
  • オプション湿気および水分に対するゲル保護

用途

この小型圧力センサ MS52XX の主な用途は以下のとおりです。

仕様と特徴

製品情報をご確認ください または 認証機関による最新情報に関しましてはお問い合わせください。 

製品のタイプの特徴

  • センサ パッケージ  SMT 対応

  • 圧力センサのタイプ  mV 出力圧力センサ

  • 圧力のタイプ  ゲージ

電気的特性

  • 供給電圧範囲 (V) 5

寸法

  • 製品幅  7.6 mm [ .299 in ]

  • 製品長さ  7.6 mm [ .3 in ]

  • 製品高さ  4.28 mm [ .168 in ]

使用条件

  • 圧力 (bar) 12

  • 使用温度範囲  -40 – 125 °C [ -40 – 257 °F ]

動作/用途

  • 耐プレッシャ レンジ  10 bar

  • 出力信号のタイプ  150mV

  • 圧力精度  ±.05/.15% F.S.非線形性

その他

  • センサ オプション  透明ゲルによる高線形性

関連資料

データ シート/カタログ ページ