半導体プロセス

制御盤

半導体製造装置に必要となる高精度スイッチング・接続・抵抗器・フィルタについては、TE にお任せください。

必要な電力およびデータの保護を実現



EMI フィルタや電力切り替え装置と同様に、制御盤とその他の装置との間の接続と制御盤内の電力およびデータ コネクティビティは常に重要です。半導体製造装置メーカは、無停止の運用を可能にする柔軟で信頼性の高いソリューションを必要としています。おそらく最も重要なのは、半導体の製造プロセスは厳密性を重んじるため、装置が電磁干渉 (EMI) の影響を受けやすいことです。それだけではなく、レーザーやプラズマ発生装置などの多くの装置はそれ自体が一定程度の EMI をそれぞれ発生させます。したがって、中断なく生産を続けるためには、制御盤 接続に RF/EMI フィルタが含まれていることが重要です。

制御盤

EMI フィルタ

TE と連携することで、60 年以上にわたって極めて要求の厳しい負荷や非常に過酷な環境向けのフィルタを設計してきた EMI/EMC エンジニアリングおよびアプリケーションの専門知識を存分に活用できます。

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制御盤内電源供給

迅速に組み立てることができ、使いやすくて信頼性と安全性の高い電源供給。

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モジュラ装置接続

装置の寿命全体にわたる信頼性の高い接続と制御盤への柔軟な配線については、TE にお任せください。

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コード セット

TE の信号およびデータ 接続用コード セットの幅広いラインナップから、必要なトレーサビリティーと高信頼性を実現できます。

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電力の接続および切断

TE は、信頼性の高い半導体製造制御盤用 DC 電源切断ソリューションです。

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