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  • Descripción General

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Sistema ultrasónico de medición de alta precisión

Sistema ultrasónico de medición de alta precisión-CAT-ULT0007
  • MEAS
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  • SL-900
El sistema ultrasónico de medición de alta precisión SL-900 es una solución ideal para la detección y medición de fluidos químicos ultrapuros en la industria de semiconductores.
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Características del producto

  • Tipo de sensor ultrasónico : Sensores de nivel de líquido puntual

  • Tipo de sensor ultrasónico : Contacto

Disponible en

LADD Inc
Descripción General

Medir con precisión y confiabilidad el nivel de un fluido en el proceso de deposición química de vapor es de suma importancia para el proceso de fabricación de obleas en la industria de semiconductores. El sensor serie SL-900 proporciona uno o varios niveles puntuales discretos con un grado de precisión muy alto. Este sistema ultrasónico es ideal para líquidos de alta viscosidad como el DMAH y los precursores de titanio y de cobre. 

Características

  • Cuerpo del sensor mecanizado en acero inoxidable 316 L
  • El material del sensor tiene un acabado electropulido (Ra = 25 µin como mínimo)
  • El tamaño miniatura del sensor reduce el desplazamiento del volumen del líquido
  • Aplicación en recipientes de alta presión hasta 250 PSIG (1,724 kPa). Consulta con la fábrica para aplicaciones de mayor presión.
  • La precisión de cada nivel puntual discreto es de ±2 mm
  • La repetibilidad típica es de ±1 mm
  • Nivel bajo de un solo punto a tan solo 1/4” in (6 mm) del fondo del recipiente para tubo de 5/8 in y 5/16 in para tubo de 1/2 in
  • Funciona con los siguientes químicos, sin importar la constante dieléctrica, la viscosidad, el color, la densidad u opacidad: DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA

Aplicaciones

  • Industria de semiconductores
  • Industria farmacéutica
  • Recipientes de alta presión 
Características

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Características del tipo de producto

  • Tipo de sensor ultrasónico  Sensores de nivel de líquido puntual

  • Tipo de sensor ultrasónico  Contacto

Características eléctricas

  • Tipo de salida  LED de dos colores y relevador de ½ A

Condiciones de uso

  • Rango de temperatura de funcionamiento  -30 – 93 °C [ -22 – 198 °F ]

  • Presión  17.2 bar [ 250 psi ]

Operación/aplicación

  • Punto de activación o rango de detección  Variable

Otro

  • Conexión a puerto  Macho o hembra 3/4 VCR | NPT de 1/2

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Páginas de catálogo y hojas de datos