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Ultraschall-Mikro-Messsystem

Ultraschall-Mikro-Messsystem-CAT-ULT0007
  • MEAS
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  • SL-900
Das Ultraschall-Mikro-Messsystem der Serie SL-900 ist eine ideale Lösung für die Erkennung und Messung von hochreinen Chemikalienlösungen in der Halbleiterbranche.
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Produktmerkmale

  • Ultraschallsensor-Typ : Füllstandspunktsensoren

  • Ultraschallsensor-Ausführung : Kontakt

Erhältlich von

LADD Inc
Übersicht

Präzise und zuverlässige Messungen des Flüssigkeitsfüllstands während der chemischen Gasphasenabscheidung sind für den Fertigungsprozess von Halbleiterscheiben von größter Bedeutung. Der Sensor der Serie SL-900 misst einzelne oder mehrfache diskrete Grenzstände mit einem sehr hohen Maß an Präzision. Das Ultraschallsystem eignet sich ideal für hochviskose Flüssigkeiten wie DMAH, Titanium- und Kupferausgangsstoffe. 

Eigenschaften

  • Maschinell hergestelltes 316 L-Edelstahlsensorgehäuse
  • Das Sensorgehäuse besitzt eine elektropolierte Oberfläche (Ra = max. 0,635 µm)
  • Miniatursensorgröße reduziert Flüssigkeitsvolumenverdrängung
  • Hochdruckbehälteranwendung bis 250 PSIG (1724 kPa) (höhere Drücke auf Anfrage)
  • Die Genauigkeit jedes diskreten Punktniveaus beträgt ±2 mm
  • Wiederholgenauigkeit von typisch ±1 mm
  • Einzelpunkttiefstandbestimmung ab 6 mm vom Boden des Gefäßes bei 5/8"-Schlauch bzw. 8 mm bei 1/2"-Schlauch
  • Funktioniert mit den folgenden Chemikalien unabhängig von Dielektrizität, Viskosität, Farbe, Dichte und Opazität der chemischen Flüssigkeiten: DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA

Anwendungsbereiche

  • Halbleiterindustrie
  • Pharmazeutische Industrie
  • Hochdruckbehälter 
Eigenschaften

Bitte lesen Sie die Produktunterlagen oder kontaktieren Sie uns, wenn Sie aktuelle Informationen zu Zulassungen oder Freigaben benötigen. 

Produktmerkmale

  • Ultraschallsensor-Typ  Füllstandspunktsensoren

  • Ultraschallsensor-Ausführung  Kontakt

Elektrische Kennwerte

  • Ausgangstyp  Zweifarbige LED und ½-A-Relais

Verwendungsbedingungen

  • Betriebstemperaturbereich  -30 – 93 °C [ -22 – 198 °F ]

  • Druck  17,2 bar [ 250 psi ]

Betrieb/Anwendung

  • Betätigungspunkt/Messbereich  Variabel

Weitere

  • Port-Anschluss  1/2 NPT | 3/4 VCR, Stecker/Buchse

Literatur

Datenblätter/Katalogseiten