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Système de micromesure par ultrasons

Système de micromesure par ultrasons-CAT-ULT0007
  • MEAS
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  • Capteur de position linéaire SL-900
Le système de micromesure ultrasonique série SL-900 est une solution idéale pour la détection et la mesure de fluides chimiques ultra-purs dans les industries des semi-conducteurs.
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Caractéristiques du produit

  • Type de capteur : Capteurs de niveau de liquide ponctuels

  • Type de capteur : Contact

Disponible depuis

LADD Inc
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La mesure précise et fiable du niveau d'un fluide dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur est d'une importance capitale pour la fabrication des plaquettes de semi-conducteurs. Le capteur de la série SL-900 fournit des niveaux simples ou multiples avec un très haut degré de précision. Ce système à ultrasons est particulièrement adapté aux liquides à haute viscosité tels que le DMAH, les précurseurs de titane et les précurseurs de cuivre. 

Caractéristiques

  • Le corps du capteur est usiné en acier inoxydable 316L
  • Le matériau du capteur présente une finition électropolie (Ra = 25 µpo - minimum)
  • La taille miniature du capteur réduit le déplacement du volume de liquide
  • Application sur des récipients haute pression jusqu'à 250 PSIG (1724 kPa) (consultez l'usine pour des applications à pression plus élevée)
  • La précision du niveau de chaque point discret est de ±2 mm
  • La répétabilité est typiquement de ±1 mm
  • Niveau bas en un seul point à seulement 6 mm du fond du récipient pour un tube de 15 mm et 8 mm pour un tube de 12 mm
  • Fonctionne avec les produits chimiques suivants, indépendamment du diélectrique, de la viscosité, de la couleur, de la densité et de l'opacité des fluides chimiques : DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA

Applications

  • Industrie des semi-conducteurs
  • Industrie pharmaceutique
  • Récipients à haute pression 
Caractéristiques

Veuillez consulter les documents sur les produits ou contactez-nous pour obtenir les dernières informations sur les données.

Caractéristiques du type de produit

  • Type de capteur  Capteurs de niveau de liquide ponctuels

  • Type de capteur  Contact

Caractéristiques électriques

  • Type de sortie  LED bicolore et relais ½ A

Conditions d’utilisation

  • Plage de température de fonctionnement  -30 – 93 °C [ -22 – 198 °F ]

  • Pression  17,2 bar [ 250 psi ]

Fonctionnement/Application

  • Point de déclenchement / portée de détection  Variable

Autre

  • Taille nominale du filetage  1/2 NPT | 3/4 VCR, mâle/femelle

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Fiches techniques et pages de catalogue