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Sistema de micromedição ultrassônica

Sistema de micromedição ultrassônica-CAT-ULT0007
  • MEAS
|
  • SL-900
O sistema de micromedição ultrassônica da série SL-900 é uma solução ideal para a detecção e a medição de fluidos químicos ultrapuros nos setores de semicondutores.
Mais Menos

Características do Produto

  • Tipos de sensores ultrassônicos : Sensores de nível de líquido Point

  • Estilo de sensores ultrassônicos : Contato

Disponivel de

LADD Inc
Visão geral

A medição precisa e confiável do nível de um fluido no processo de deposição de vapor químico é de extrema importância para o processo de fabricação de bolachas semicondutoras. O sensor da série SL-900 fornece níveis de pontos discretos únicos ou múltiplos com um grau muito alto de precisão. Esse sistema ultrassônico é adequado para líquidos de alta viscosidade, como DMAH, precursores de titânio e precursores de cobre. 

Características

  • corpo do sensor usinado em aço inoxidável 316 L
  • O material do sensor tem um acabamento eletropolido (Ra = 25 µin - mínimo)
  • O tamanho do sensor em miniatura reduz o deslocamento do volume do líquido
  • Aplicação em vasos de alta pressão de até 250 PSIG (1724 kPa) (consulte a fábrica para aplicações de pressão mais alta)
  • A precisão de cada nível de ponto discreto é de ±2 mm
  • A repetibilidade de ±1 mm é típica
  • Nível baixo de ponto único tão próximo quanto 1/4" (6 mm) do fundo do recipiente para tubo de 5/8" e 5/16" para tubo de 1/2
  • Trabalha com os seguintes produtos químicos, independentemente do dielétrico, da viscosidade, da cor, da densidade e da opacidade dos fluidos químicos: DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA

Aplicações

  • Indústria de semicondutores
  • Indústria farmacêutica
  • Vasos de alta pressão 
Características

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Características do tipo do produto

  • Tipos de sensores ultrassônicos  Sensores de nível de líquido Point

  • Estilo de sensores ultrassônicos  Contato

Características elétricas

  • Output Type  Dual Color LED and ½ A Relay

Condições de uso

  • Intervalo amplo de temperatura de operação  -30 – 93 °C [ -22 – 198 °F ]

  • Pressão  17.2 bar [ 250 psi ]

Operação/Aplicação

  • Intervalo de ponto de atuação/sensoriamento  Variável

Outro

  • Ajuste  1/2 NPT | 3/4 VCR, Male/Female

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