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Die SMD-Drucksensorserie MS52XX ist für Drucksysteme mit höchsten Anforderungen an Auflösung und Genauigkeit ausgelegt. Seine Hauptvorteile sind die hohe Zuverlässigkeit des Halbleitersensors und ein Design, das ihn für Anwendungen geeignet macht, die kleine und kosteneffiziente Lösungen erfordern.
Das Sensorelement des MS52XX besteht aus einer mikrobearbeiteten Silikonmembran mit einem unter Vakuum auf die Rückseite geklebten Borosilikatglas-Wafer als Referenzdruck. Implantierte Widerstände nutzen den piezoresistiven Effekt, um den auf die Membran wirkenden Druck zu erfassen. Der Sensor wird in einem speziellen Verfahren montiert, das eine optimale Offset-Stabilität ermöglicht und das Bauteil für die direkte Leiterplattenmontage geeignet macht.
Eigenschaften
Absoluter Druckbereich bis 12 bar
Unkompensiert
Piezoresistiver mikrobearbeiteter Silizium-Sensor
Oberflächenmontage, 7,6 x 7,6 mm
Rauscharm, hohe Empfindlichkeit, hohe Linearität
Kostengünstiges SMD-Keramikpaket
Hohe Zuverlässigkeit, geringe Drift
Betriebstemperaturbereich von –40 °C bis +125 °C
Optional: Gelschutz vor Feuchtigkeit und Wasser
Anwendungsbereiche
Typische Anwendungen für diesen miniaturisierten Drucksensor MS52XX sind: