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Übersicht

Das Sensorelement des MS52XX besteht aus einer mikrobearbeiteten Silikonmembran mit einem unter Vakuum auf die Rückseite geklebten Borosilikatglas-Wafer als Referenzdruck. Implantierte Widerstände nutzen den piezoresistiven Effekt, um den auf die Membran wirkenden Druck zu erfassen. Der Sensor wird in einem speziellen Verfahren montiert, das eine optimale Offset-Stabilität ermöglicht und das Bauteil für die direkte Leiterplattenmontage geeignet macht.

Eigenschaften

  • Absoluter Druckbereich bis 12 bar 
  • Unkompensiert 
  • Piezoresistiver mikrobearbeiteter Silizium-Sensor  
  • Oberflächenmontage, 7,6 x 7,6 mm 
  • Rauscharm, hohe Empfindlichkeit, hohe Linearität
  • Kostengünstiges SMD-Keramikpaket
  • Hohe Zuverlässigkeit, geringe Drift 
  • Betriebstemperaturbereich von –40 °C bis +125 °C  
  • Optional: Gelschutz vor Feuchtigkeit und Wasser

Anwendungsbereiche

Typische Anwendungen für diesen miniaturisierten Drucksensor MS52XX sind:

Eigenschaften

Bitte lesen Sie die Produktunterlagen oder kontaktieren Sie uns, wenn Sie aktuelle Informationen zu Zulassungen oder Freigaben benötigen. 

Produktmerkmale

  • Sensorgehäuse  Für Oberflächenmontage

  • Drucksensortyp  Drucksensoren mit mV-Ausgabe

  • Druckart  Lehre

Elektrische Kennwerte

  • Versorgungsspannungsbereich (V) 5

Abmessungen

  • Produktbreite  7.6 mm [ .299 in ]

  • Produktlänge  7.6 mm [ .3 in ]

  • Produkthöhe  4.28 mm [ 0,168 in ]

Verwendungsbedingungen

  • Druck (bar) 12

  • Betriebstemperaturbereich  -40 – 125 °C [ -40 – 257 °F ]

Betrieb/Anwendung

  • Prüfdruckbereich  10 bar

  • Ausgangssignaldetails  150 mV

  • Druckgenauigkeit  ± 0,05/ 0,15 % FS Nichtlinearität

Weitere

  • Sensor-Optionen  Hohe Linearität mit transparentem Gel

Literatur

Datenblätter/Katalogseiten