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概要

化学蒸着工程において液体レベルを高い信頼性で正確に測定することは、半導体のウェハ製造工程において何にもまして重要です。 Measurement Specialties による SL-900 シリーズは、1 つまたは複数の離散点レベルごとに非常に高い精度での測定を実現します。SL-900 シリーズの超音波システムは、DMAH、チタン前駆体、銅前駆体などの高粘性液体に最適です。

特長

  • センサ本体は、機械加工された 316 L ステンレス鋼製
  • センサ材料を電解研磨仕上げ (最小算術平均粗さ Ra = 25 µin)
  • センサのサイズを小型にすることで、液体体積の変位を低減
  • 化学流体の電解性・粘度・色・密度・透明度に関わらず、DMAH・TAETO・CVD・TDEAT・CUTMUS・TEOS・DCE・TCAなどの液体で使用可能
  • 最大 250 PSIG (1724 kPa) までの高圧容器用途に対応 (これより高圧の用途については、工場までお問い合わせください)
  • 離散点レベルごとの精度 ±2 mm
  • 通常、±1 mm の再現性を提供
  • 5/8 インチ チューブでは容器底面から 1/4 インチ (6mm) まで、1/2 インチ チューブでは 5/16 インチまでの単一ポイント低水面に対応

用途

  • 半導体産業
  • 製薬業界
  • 高圧力容器
特徴

製品情報をご確認ください または 認証機関による最新情報に関しましてはお問い合わせください。 

製品のタイプの特徴

  • センサのタイプ  Point Liquid Level Sensors

  • タイプ  Contact

構成の特徴

  • ケーブル  ストレイン リリーフで最大 24" シールド処理済み、9 ピン コネクタ

電気的特性

  • 出力  デュアル カラー LED および ½ A リレー

  • 入力  可変

動作/用途

  • 圧力範囲  250 psi

  • プロセス接続  1/2"、3/4" VCR、オス/メス

  • 作動点/センシング範囲  可変

その他

  • 使用温度 DEGF  -22 – 198

  • 使用温度 DEGC  -30 – 93

関連資料

カタログ ページ/データ シート

契約条件

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